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日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵

更新時間：2024-08-22

訪問量：269

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
?可實現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護周期可通過計時表控制。
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置臥式葉輪數(shù)目其他
應用領域環(huán)保,化工,電子,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵


特點

  • 結構緊湊，排氣量大。

  • 干式真空泵的最高壓力水平。

  • 內(nèi)置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。。

  • 通過空氣沖洗抑制水分凝結。。

用途

  • 分析設備

  • 氣體回收系統(tǒng)

  • 涂裝設備

  • TMP的背泵

  • 氦氣檢漏儀

  • 半導體制造工藝

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵

規(guī)格


Unit50Hz60Hz
設計排氣速度度※1
L/min500600
極限壓力
Pa1.0
使用電動機※2
單相
100/115/200/230V, 600W, 4P , 電容器啟動?運転
三相200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P
全負荷電流
單相A8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)		10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)
三相2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V)		2.8/2.6/2.5/1.47
(200/208/230/460V)
重量
單相kg44.0
三相38.0
吸氣口徑

KF-40
排氣口徑

KF-25
使用環(huán)境溫度范圍
℃5～40
水蒸氣處理量
g/day≦25以下（AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下）
噪音水平
單相dB≦62（AF開時※3, ≦70）
三相≦60（AF開時※3, ≦68）
最大尺寸
單相mm290(W)×443(L)×397(H)
三相292(W)×372(L)×397(H)

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵

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