石英振動體類型

2006年，一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶圓進行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學(xué)品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀，以適應(yīng)不同的用途，能夠根據(jù)需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。

優(yōu)勢品牌HONDA本多石英振動體清洗機

特長

對具有細微結(jié)構(gòu)的晶片進行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶片進行清洗。
將超聲波振動從石英振動元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上，接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動，加速去除表面污染。
■清潔度高，對半導(dǎo)體晶圓的損害最小。
與使用橡膠材料（如墊片）的設(shè)備相比，使用石英與化學(xué)溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作，沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。

規(guī)格

■發(fā)振器

●可變的輸出范圍：0W到12W（振動體的允許輸入：當使用空氣吹掃冷卻時，連續(xù)10W）。
●周圍操作環(huán)境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。
●外部驅(qū)動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點輸入：12 V DC 16 mA min.
　報警輸出（主單元）觸點容量：24 V DC 0.5 A
■附屬電纜：電源線（100V為2米/200V為3米），控制線（5米）x4